6a-A3-3 深さの関数としての陽電子消滅測定(I) : 半導体のイオン注入欠陥

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1988-09-16

著者

• 上殿 明良

  筑波大数理

• 上殿 明良

  筑波大学電子物理工学系

• 谷川 庄一郎

  筑波大物質工

• 上殿 明良

  筑波大物質

• 松近 敬行

  筑波大物質工

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