25pYP-4 As^+イオン注入によりSi基板中に導入された反跳酸素と空孔型欠陥の検出
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2000-09-10
著者
-
上殿 明良
筑波大数理
-
上殿 明良
筑波大学電子物理工学系
-
大平 俊行
産総研
-
上殿 明良
筑波大物理工
-
村松 誠
筑波大物理工
-
生形 友宏
筑波大物理工
-
鈴木 良一
電総研
-
大平 俊行
電総研
-
谷野 浩敏
筑波大物質工
-
中野 明彦
STARC
-
山本 秀和
STARC
-
谷川 庄一郎
筑波大物理工
-
谷川 庄一郎
筑波大物質工学
-
谷川 庄一郎
筑波大学物質工
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