シリコン融液柱におけるマランゴニ対流不安定性モードのTime Evolution(半導体結晶成長III)
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概要
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Time evolution of the Marangoni flow instability was observed in the molten silicon bridge by measuring temperature oscillation using six fine thermocouples aligned along the azimuthal direction. Temperature oscillation data was analyzed using the Lagrange's method for interpolation and visualized. The existence ratio of possible instability modes was for the first time experimentally determined for various aspect ratios of the molten silicon bridges.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2003-07-05
著者
-
日比谷 孟俊
ウィーン工科大学熱流体力学研究所
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日比谷 孟俊
首都大学東京
-
佐藤 伸秀
都立科技大
-
日比谷 孟俊
都立科技大
-
山根 規義
都立科技大院
-
山根 規義
都科技大工
-
大久保 英和
都立科技大
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