電流磁場印加法(EMCZ)により育成したSi単結晶中の酸素濃度分布 : 融液物性II
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We measured oxygen concentration and its distribution with radial direction in the Si crystals grown by using the electromagnetic CZ (EMCZ) method. Oxygen concentration changed from 1×10^<17> to 8×10^<17> cm^<-3> with changing the magnetic field strength and electrical current in the melt. The radial distribution was more homogeneous than that in crystals grown by the normal MCZ method. This results shows that EMCZ method has the advantage to control the oxygen concentration and its distribution in a large-diameter silicon crystal.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1998-07-01
著者
-
日比谷 孟俊
ウィーン工科大学熱流体力学研究所
-
渡辺 匡人
NEC
-
渡辺 匡人
NEC基礎研究所
-
日比谷 孟俊
NEC基礎研
-
渡辺 匡人
学習院大学理学部
-
日比谷 孟俊
首都大学東京
-
江口 実
Nec
-
江口 実
NEC基礎研究所
-
渡邉 匡人
学習院大 理
関連論文
- 自由表面を局在化した低Pr液柱における軸対称マランゴニ対流の振動流遷移 : 遠心力および楕円型不安定性メカニズムの効果
- 27pYC-9 低速陽電子によるSi基板の炭化により導入された空孔型欠陥の研究
- SiC/Si界面のボイド欠陥発生の陽電子消滅法による観察 : エピタキシャル成長IV
- 大気球を用いた微小重力環境による線香花火の燃焼
- 微小重力環境における線香花火の火花の飛び方
- 雰囲気酸素分圧依存性を考慮した高温融体の表面張力測定
- 微小重力環境下における高温融液熱物性測定の進展
- 静磁場重畳電磁浮遊技術を利用した高温融体の表面張力測定
- 電磁浮遊法による高温融体の表面張力測定
- 微小重力下での電磁浮遊液滴の表面振動
- 日本熱物性学会賞論文賞を受賞して
- 雰囲気酸素分圧依存性を考慮した微小重力下における高温融体の表面張力測定の試み
- 金属性融体表面張力の酸素分圧依存性
- 高温融体の表面張力値に及ぼす雰囲気酸素分圧の影響
- 電磁浮遊炉を用いた液滴振動法によるAg融体の表面張力測定
- 液滴振動法による表面張力測定における回転およびl=2, m= ±2振動を抽出する手法の提案
- 液状燐被履直接合成引上げ法によるInP結晶成長
- 5p-ZA-6 Pb_2Ba_2(Y_Ca_x)Cu_3O_の合成と評価
- 「シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御」小特集にあたって(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
- 高温融体の構造解析
- 電磁浮遊法を用いた溶融シリコンの様々な熱物性値測定計画
- 放射光を利用した過冷却Co-Si合金の無容器凝固における相選択のその場観察
- 電磁浮遊させたシリコン液滴の振動挙動におよぼす静磁場印加の影響
- 第22回学術講演会(JASMAC-22)を終えて
- 微小重力科学の価値を主張し続けよう
- JANE-2006報告
- ELGRA(ヨーロッパ低重力学会)日欧流体セッション
- 電磁浮遊法による高温融体の表面張力測定
- シリコン単結晶成長プロセスの数値シミュレーションに要求される熱物性値
- シリコン結晶成長プロセスシミュレーションに要求される熱物性値調査
- シリコン液柱における振動マランゴニ対流の観測
- 過冷却シリコン液体の密度と構造
- 測定の不確かさを考慮した溶接材料融体の熱物性データベース構築
- 過冷却シリコンの重直分光放射率とその熱放射機構
- 電磁浮遊法を用いた液体シリコンの分光放射率測定とその温度依存性
- 過冷却温度域の Ge 融液表面張力
- シリコン液柱内マランゴニ対流の温度振動と温度分布
- TR-IA-4号小型ロケットによるシリコンメルトマランゴニ対流の温度振動測定
- シリコン融液の表面張力に及ぼす酸素と温度の影響
- シリコン融液の表面張力に及ぼす酸素分圧の影響
- 静磁場を重畳した電磁浮遊液滴振動法による金属性融液の表面張力測定 (強磁場下の物性の研究--その他)
- シリコン融体の表面張力の測定 : バルク成長シンポジウムI
- Faraday Discussions参加報告 : 本会が学ぶべき事
- Peter Rudolph教授講演会(第72回バルク成長分科会研究会)
- 熱物性分科会報告
- 電磁浮遊炉による雰囲気酸素分圧依存性を考慮した金属性高温融体の表面張力
- 高温融体物性計測と液体物性シミュレーションの融合 : シミュレーションを援用した高温融体の構造解析
- F206 CZ-Siメルト表面のスポークパターン形成における表面張力起因対流の役割(オーガナイズドセッション17 : 材料およびデバイス製造の熱工学)
- CZ-Siメルト表面のネットワークパターン形成における表面張力起因対流の役割
- シリコン液柱における振動マランゴニ流の非接触温度測定
- シリコンメルト表面におけるベナールセルの観測
- 24aB2 浅いシリコンメルト表面における温度変動(バルク成長VII)
- シリコンメルト表面の非接触温度測定
- 高温融体表面のモデルとシミュレーション-高温融体熱物性の精密計測化を目指して-
- F204 EMCZ法による8インチSi単結晶育成中の熱物質輸送(オーガナイズドセッション17 : 材料およびデバイス製造の熱工学)
- 酸化物メルトの電磁力による回転 : バルク成長V
- 導電性るつぼ内のSiメルトの自発回転 : バルク成長II
- 電流磁場印加引上げ法(EMCZ法)によるシリコン単結晶中の酸素濃度制御(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
- 24aB3 電流磁場印加結晶引上げ法(EMCZ法)によるSi結晶中の酸素濃度制御(バルク成長VII)
- 電流磁場印加法(EMCZ)により育成したSi単結晶中の酸素濃度分布 : 融液物性II
- 電磁力によるSi融液の回転 : 融液物性II
- カスプ磁場印加法により育成したSi単結晶中の酸素濃度変動
- シリコン単結晶製造時における融液の流れ
- 27pA3 CZ単結晶育成中におけるSi融液対流速度の垂直磁場による変化(バルク結晶成長シンポジウムII)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
- Parabolic Flight Experimental Facilities (PFLEX) による高温融体熱物性計測
- 工業的重要電子材料の結晶成長国際スクール(ISCGTIEM)インド・マイソール参加報告(閑話休題)
- 溶融半導体からの結晶成長における流れの直接観察
- X線透視法によるシリコン融体の対流直接観測 : 実験とシミュレーションとの対応
- シリコン液柱における高Ma数振動マランゴニ対流不安定性の周方向対称性
- シリコン融液柱における高マランゴニ数振動マランゴニ対流の動的実験的解析
- 25aA04 シリコン融液柱マランゴニ対流不安定性の動的解析(バルク,第34回結晶成長国内会議)
- シリコン融液柱マランゴニ対流不安定性の動的解析
- 22aA1 X線透視法によるSi単結晶育成時の融液対流観察(バルク成長I)
- ICCG-12参加報告 : バルク半導体関係
- ダブルビームX線透視法によるCzSi単結晶育成時の融液対流三次元可視化観察 : 融液成長IV
- 雰囲気流れに着目した低プラントル数流体液柱マランゴニ対流の研究
- 5041 ハーフゾーン液柱内温度差マランゴニ対流の線形安定性における自由表面局在化の効果(J09-2 熱流体輸送および反応流の実験的及び数値的解析(2),J09 熱流体輸送および反応流の実験的及び数値的解析)
- 数値計算によるSi融液中の熱と物質の輸送現象の理解 : 融液成長VI
- Si融液対流と育成結晶中のストリエーションとの相関 : 融液成長VI
- CZ法におけるSi融液対流の三次元構造(バルク成長(II))
- Si融液対流の三次元解析 : 軸対称流について : 融液成長V
- 高温融体の表面張力値とその温度係数に及ぼす酸素吸着の影響
- 無容器浮遊における過冷却・酸素過飽和下でのシリコン融液の表面酸化
- 高温融液の熱物性定数測定 (夢の材料ファクトリ-"宇宙") -- (微小重力環境利用の研究現況)
- 国際協力による微小重力環境下での高温融体熱物性計測プロジェクト
- 電磁力の影響を考慮した電磁浮遊法による高温融体の粘性測定
- 国際宇宙ステーションにおける電磁浮遊法による金属融体熱物性計測プロジェクト (特集 無容器浮遊による高温融体熱物性測定--その特徴と発展)
- 自由表面を局在化したハーフゾーンにおける温度差マランゴニ対流の不安定性メカニズム
- ミルククラウン形成過程における重力加速度の影響について
- 部分自由表面型ハーフゾーン液柱における温度差マランゴニ対流の線形安定解析
- シリコン液柱内マランゴニ対流に関する研究
- マランゴニ対流に起因するシリコン融液柱表面振動の位相シフト干渉法を用いた観察
- 部分自由表面型ハーフゾーン液柱内マランゴニ対流における軸対称流から振動流への直接遷移
- 自由表面を部分的に覆ったSiハーフゾーン液柱内マランゴニ対流の数値シミュレーション
- シリコン単結晶成長プロセスの数値シミュレーションに要求される熱物性値(バルク成長分科会特集-最先端デバイスと科学技術-)
- 電磁浮遊液滴の表面振動周波数に及ぼす静磁場印加の影響
- 電磁浮遊炉による雰囲気酸素分圧依存性を考慮した金属性高温融体の表面張力
- シリコン融液柱におけるマランゴニ対流不安定性モードのTime Evolution(半導体結晶成長III)
- 2相分離液体の表面振動シミュレーション