24aB2 浅いシリコンメルト表面における温度変動(バルク成長VII)
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概要
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We observed a wave-like temperature distribution moving in azimuthal directions on a surface of a silicon melt layer 8mm in depth and 126mm in diameter. This temperature distribution is discussed by view points of hydrothermal wave and Benard cell.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1999-07-01
著者
-
日比谷 孟俊
NEC基礎研
-
江口 実
Nec
-
江口 実
NEC基礎研究所
-
中村 新
日本電気(株)基礎研究所
-
中村 新
NEC基礎研究所
-
莇 丈史
日本電気
-
莇 丈史
NEC基礎研
-
日比谷 孟俊
東工大
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