位相シフト干渉法を用いたシリコン融液表面におけるマランゴニ振動の観察
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概要
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- 1998-10-01
著者
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小沼 一雄
物質工学工業技術研究所無機材料部
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小沼 一雄
物質工学工業技術研究所
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中村 新
日本電気(株)基礎研究所
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角地 雅信
東京工業大学総合理工学研究科
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中村 新
日本電気基礎研究所
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日比谷 孟俊
日本電気基礎研究所
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角地 雅信
東工大
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日比谷 孟俊
東工大
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