シリコンメルト液柱内の対流構造 : 融液成長(シリコン関連) I
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1994-07-05
著者
-
日比谷 孟俊
東京都立科学技術大学工学部
-
柿本 浩一
九州大学応用力学研究所
-
日比谷 孟俊
Nec 基礎研
-
中村 新
NEC 基礎研究所
-
柿本 浩一
NEC 基礎研究所
-
中村 新
日本電気(株)基礎研究所
-
日比谷 孟俊
NEC 研究開発グループ
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