19pXB-4 超音波による点欠陥制御育成CZシリコン結晶の原子空孔濃度分布測定(格子欠陥・ナノ構造(半導体・ナノ粒子・表面界面),領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)

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