21aRB-7 超音波計測によるデバイス用シリコン結晶中の原子空孔観測(21aRB 格子欠陥・ナノ構造(半導体・シミュレーション),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))

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