21pRB-1 低温超音波計測によるシリコン原子空孔の物性研究と産業応用(21pRB 領域10シンポジウム:シリコン結晶中の単原子空孔:量子状態解明の新たな展開と半導体技術イノベーション,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))

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