W03-(2) シリコン結晶製造プロセスのナノ、ミクロ、マクロスケール数値計算
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概要
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Thermal conductivity of solid silicon as a function of mole fraction of isotope was investigated by molecular dynamics simulation. An empirical potential of Stillinger-Weber potential was used to speculate thermal conductivity of isotope silicon. The equilibrium molecular dynamics based on Green-Kubo's formula was used to investigate thermal conductivity of silicon as a function of mole fraction of isotope. The calculation clarified that thermal conductivity of mixed isotope silicon has a half value of that of pure isotope silicon. The calculation also investigated that pure isotope with light mass has a large thermal conductivity.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-08-05
著者
-
柿本 浩一
九州大学応用力学研究所
-
劉 立軍
九州大学応用力学研究所
-
劉 立軍
九大
-
石井 秀夫
九州大学応用力学研究所
-
村川 淳
九州大学大学院工
-
篠崎 高茂
九州大学応用力学研究所
-
篠崎 高茂
九大応力研
-
村川 淳
九州大学応用力学研究所:(現)日立製作所
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