マルチヒーターを使用した一方向性凝固法によるシリコン多結晶育成時の熱流動解析

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概要

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• 〔九州大学応用力学研究所〕の論文

著者

• 柿本 浩一

  九州大学応用力学研究所

• 中野 智

  九州大学応用力学研究所

• 劉 立軍

  九大

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