17aA02 EMCZ印加下におけるシリコン融液中の酸素輸送の三次元総合解析(半導体バルク,第35回結晶成長国内会議)
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概要
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Three-dimensional (3D) analysis was carried out for oxygen transport in silicon melts of a Czochralski (CZ) growth process with electromagnetic fields using 3D global modeling. The system with electromagnetic fields was established with a transverse magnetic field and an injected electric current applied on the melt surface. The results showed that control of the oxygen transport in a melt is possible by appropriate positioning of the electrode on the melt surface.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2005-08-17
著者
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