シリコン単結晶育成時の融液のマランゴニ対流
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概要
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- 1998-03-05
著者
-
依田 真一
宇宙開発事業団
-
今石 宣之
九大機能研
-
向井 楠宏
九工大工学部
-
中村 新
日本電気(株)基礎研究所
-
向井 楠宏
九工大
-
中村 新
日本電気 (株) システムデバイス・基礎研究本部
-
日比谷 孟俊
日本電気 (株) システムデバイス・基礎研究本部
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