24aB3 電流磁場印加結晶引上げ法(EMCZ法)によるSi結晶中の酸素濃度制御(バルク成長VII)
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概要
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We developed new crystal growth method (EMCZ) using electromagnetic force in order to control of oxygen concentration in silicon crystals. Using this method, the oxygen concentration in silicon crystals was continuously changed from 1x10^<17> to 1x10^<18> cm^<-3> with the increase of melt rotation rate. This mean that EMCZ method can achieve homogenization of oxygen concentration along the pulling direction with gradually changing the melt rotation rate.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1999-07-01
著者
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