「シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御」小特集にあたって(<小特集>シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 2000-01-28
著者
-
渡辺 匡人
NEC
-
寺嶋 一高
湘南工科大学
-
寺嶋 一高
湘南工科大学マテリアル工学科
-
渡辺 匡人
日本電気(株)基礎研究所
-
伊藤 誠人
住友金属工業(株)シチックス事業本部
-
渡辺 匡人
学習院大学理学部
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