Czシリコン単結晶育成炉内における石英と黒鉛の反応 : 融液物性I
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概要
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Quartz reacts with carbon on the contact area at high temperature. This reaction will get deterioration of the quartz crucible and the carbon suscepter during the pulling process. one of effective means of study the deterioration phenomenon, we measured the weight variations of crucible and carbon suscepter. It was found that the reaction of quartz and carbon is dissociation reaction. The dominant chemical reaction has been determined to be siO_2 + C → SiO↑+ CO↑.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1998-07-01
著者
-
寺嶋 一高
湘南工科大学
-
寺嶋 一高
湘南工科大学マテリアル工学科
-
中西 秀夫
東芝セラミックス
-
加藤 正樹
ディスコ
-
安部 啓成
シリコンユナイテッドマニュファクチャリング:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
-
前田 進
コマツ電子金属:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
-
中西 秀夫
湘南工科大学シリコン融液プロジェクト
-
前田 進
湘南工科大学シリコン融液プロジェクト
-
加藤 正樹
湘南工科大学シリコンプロジェクト
-
安部 啓成
湘南工科大学シリコンプロジェクト
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