前田 進 | コマツ電子金属:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
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概要
関連著者
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寺嶋 一高
湘南工科大学
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寺嶋 一高
湘南工科大学マテリアル工学科
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中西 秀夫
東芝セラミックス
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前田 進
コマツ電子金属:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
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安部 啓成
シリコンユナイテッドマニュファクチャリング:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
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中西 秀夫
湘南工科大学シリコン融液プロジェクト
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前田 進
湘南工科大学シリコン融液プロジェクト
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安部 啓成
湘南工科大学シリコンプロジェクト
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前田 進
コマツ電子金属
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加藤 正樹
ディスコ
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安部 啓成
シリコンユナイテッドマニュファクチャリング
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中里 賢一
湘南工科大学シリコン融液プロジェクト
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加藤 正樹
湘南工科大学シリコンプロジェクト
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中西 秀夫
Toshiba Ceramics Co., Ltd.
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阿部 啓成
Silicon United Manufacturing Co., Ltd.
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前田 進
Komatsu Electlic Metal Co., Ltd.
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寺嶋 一高
Shonan Institute of Technology
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松元 健
日本電波株式会社
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安部 啓成
(株)シリコンユナイテッドマニュファクチャリング
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菅野 和也
湘南工科大学材料工学科
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瀧澤 秀行
湘南工科大学シリコン融液プロジェクト
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松元 健
湘南工科大学シリコン融液プロジェクト
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安部 啓成
湘南工大シリコン融液プロジェクト
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松元 健
湘南工大シリコン融液プロジェクト
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前田 進
湘南工大シリコン融液プロジェクト
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中西 秀夫
湘南工大シリコン融液プロジェクト
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寺嶋 一高
湘南工大シリコン融液プロジェクト
著作論文
- 円環法によるシリコン融液の表面張力測定と表面張力温度依存性を考慮した坩堝内融液流れ
- シリコン単結晶の酸素濃度均一性と融液の蒸発
- シリコン単結晶中の酸素濃度制御技術の開発
- CZ-Si結晶中酸素濃度均一性と融液自由表面からのSiO蒸発(バルク成長分科会特集 : 結晶成長時における気液界面の物質移動と結晶に与える影響)
- シリコン及びボロン添加シリコン融液の表面張力とその温度依存性 : 融液物性I
- Czシリコン単結晶育成炉内における石英と黒鉛の反応 : 融液物性I
- シリコン融液中の石英ガラス溶解速度 : 初期溶解速度 : 融液物性I
- 半導体融液の物性測定
- シリコン融液中の石英ガラス溶解速度 : ボロン添加の効果
- ボロン添加シリコン融液の蒸発量