加藤 正樹 | ディスコ

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関連著者

• 寺嶋 一高

  湘南工科大学

• 寺嶋 一高

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• 加藤 正樹

  ディスコ

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  東芝セラミックス

• 安部 啓成

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  コマツ電子金属:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)

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  湘南工科大学シリコン融液プロジェクト

• 安部 啓成

  湘南工科大学シリコンプロジェクト

• 西村 鈴香

  湘南工科大学マテリアル工学科

• 前田 進

  コマツ電子金属

• 安部 啓成

  シリコンユナイテッドマニュファクチャリング

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著作論文

• シリコン単結晶の酸素濃度均一性と融液の蒸発
• Czシリコン単結晶育成炉内における石英と黒鉛の反応 : 融液物性I
• ボロン添加シリコン融液の蒸発量
• 22aA5 ボロン添加シリコン融液の特性(バルク成長I)

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