22aA5 ボロン添加シリコン融液の特性(バルク成長I)
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概要
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This paper describes the melt convection variation with adding boron into silicon melts with and without transverse magnetic fields. The variation of silicon melt convection and point defect origin win be discussed in terms of melt property measurements and evaluation of Cz crystals.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1999-07-01
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