シリコン融液中の石英ガラス溶解速度 : ボロン添加の効果
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概要
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The influence of boron addition on quartz dissolution rate in silicon melts has been investigated. Quartz dissolution rate increases with increasing boron concentration by using SiC-coated crucibles.Whereas in the case of quartz crucibles, quartz dissolution rate decreases with increasing boron concentration. The temperature dependence of quartz dissolution rate in boron doped silicon melt is markedly observed.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1997-07-01
著者
-
寺嶋 一高
湘南工科大学
-
寺嶋 一高
湘南工科大学マテリアル工学科
-
中西 秀夫
東芝セラミックス
-
安部 啓成
シリコンユナイテッドマニュファクチャリング:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
-
前田 進
コマツ電子金属:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
-
安部 啓成
湘南工大シリコン融液プロジェクト
-
松元 健
湘南工大シリコン融液プロジェクト
-
前田 進
湘南工大シリコン融液プロジェクト
-
中西 秀夫
湘南工大シリコン融液プロジェクト
-
寺嶋 一高
湘南工大シリコン融液プロジェクト
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