窒素添加シリコン融液の表面張力 : バルク結晶成長III
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概要
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The surface tension of silicon melts have been studied by ring tensiometry technique with nitrogen addition. The surface tension has a tendency to decrease with adding nitrogen into the melts. This tendency means the decrease of surface energy of melts and crystals at high temperature. The surface energy decreases leads to the decrease of void (COP) size.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2002-07-01
著者
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