シリコン融液中の石英ガラス溶解速度 : 初期溶解速度 : 融液物性I
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概要
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The initial stage of quartz dissolution rate has been studied by dipping_ several materials (amorphous SiO_2 cristobalite crystallized at 1500℃, cristobalite crystallized at 1550℃ into molten silicon. It was found that the initial dissolution rate of amorphous SiO_2 and cristobalite (1500℃) are about two times larger than that of cristobalite (1550℃).
- 日本結晶成長学会の論文
- 1998-07-01
著者
-
寺嶋 一高
湘南工科大学
-
寺嶋 一高
湘南工科大学マテリアル工学科
-
中西 秀夫
東芝セラミックス
-
安部 啓成
シリコンユナイテッドマニュファクチャリング:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
-
前田 進
コマツ電子金属:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
-
中西 秀夫
湘南工科大学シリコン融液プロジェクト
-
前田 進
湘南工科大学シリコン融液プロジェクト
-
安部 啓成
湘南工科大学シリコンプロジェクト
-
松元 健
湘南工科大学シリコン融液プロジェクト
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