<記事>(5) シリコン融液中の酸素の挙動 : 石英の溶解とシリコン融液からの蒸発(主題 : 素材・材料プロセスに係わる物性と評価)(素材工学研究所第 6 回研究懇談会)(素材工学研究会記事)

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