シリコン融液の流れの変化 : ボロン添加の効果 : バルク成長I
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概要
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The convention of silicon melts is activated widely with adding boron into the silicon melts. This variation enhances the resolution rate of crucible and evaporation rate of SiO from the melt surface. This is mainly due to the decrease of viscosity of melts.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2000-07-01
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