自由表面からの酸素の蒸発を考慮したSi融液中酸素輸送解析 : 融液成長(シリコン関連) II
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1994-07-05
著者
-
寺嶋 一高
新技術事業団木村融液動態プロジェクト
-
寺嶋 一高
湘南工科大学
-
寺嶋 一高
新技術事業団
-
木村 茂行
新技術事業団
-
黄 新明
Ja Solar Holdings Co. Ltd.
-
十河 慎二
新技術事業団 木村融液動態プロジェクト
-
黄 新明
新技術事業団 木村融液動態プロジェクト
-
良妻 宏司
新技術事業団木村融液動態プロジェクト
-
十河 慎二
コマツ電子金属(株)結晶技術部
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