前田 進 | コマツ電子金属
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概要
関連著者
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寺嶋 一高
湘南工科大学
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寺嶋 一高
湘南工科大学マテリアル工学科
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前田 進
コマツ電子金属
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中西 秀夫
東芝セラミックス
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安部 啓成
シリコンユナイテッドマニュファクチャリング:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
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前田 進
コマツ電子金属:(湘南工科大学シリコン融液プロジェクト)
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安部 啓成
シリコンユナイテッドマニュファクチャリング
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加藤 正樹
ディスコ
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松元 健
日本電波株式会社
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安部 啓成
(株)シリコンユナイテッドマニュファクチャリング
著作論文
- シリコン単結晶の酸素濃度均一性と融液の蒸発
- シリコン単結晶中の酸素濃度制御技術の開発
- CZ-Si結晶中酸素濃度均一性と融液自由表面からのSiO蒸発(バルク成長分科会特集 : 結晶成長時における気液界面の物質移動と結晶に与える影響)