22aA1 X線透視法によるSi単結晶育成時の融液対流観察(バルク成長I)
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概要
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We developed direct observation method for molten silicon now during Czochralski (CZ) crystal growth using x-ray radiography and solid tracer method. Using this method, now velocity and structure of molten silicon now in the normal CZ and the magnetic field applied CZ (MCZ) has been clarified.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1999-07-01
著者
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