イオン注入層を用いたマイクロマシンの作成
スポンサーリンク
概要
著者
-
中野 禅
産業技術総合研究所
-
矢部 彰
機械技研
-
矢部 彰
通産省工業技術院機械技術研究所エネルギー部流体工学研究室
-
小木曽 久人
産業技術総合研究所
-
小木曽 久人
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ
関連論文
- 分極効果を利用するEHDポンプの効率
- 分極効果によるEHD液体ポンプ流れの考察
- 21713 薄膜材の残留応力測定法(薄膜・計測,OS.12 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- 20113 イオン注入を用いた構造部品の強度的リユース性評価方法(機械工学が支援する先端デバイス評価技術,OS1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- ニューラルネットワークによる超微小押込み曲線を用いた多層薄膜材の機械的特性評価
- 不凍化蛋白質を利用する氷のスラリー化と低温蓄熱への応用の研究
- 不凍化蛋白質を利用する氷スラリーの結晶構造のミクロな研究
- 超音波振動を利用した水の過冷却解消能動制御
- (1)エアロゾルデポジション法による常温セラミックスコーティングとプラズマ耐食コーティングとしての実用化開発(技術,日本機械学会賞〔2008年度(平成20年度)審査経過報告〕)
- K-1508 空気層を含む微細凹凸面における流動抵抗低減の計算(J07-1 マイクロ熱流体現象・計測技術)(J07 マイクロマシン技術と熱流体現象)
- 伝熱面上における気泡下部液膜厚さの時間変動の測定
- 飽和プール沸騰のEHD的研究
- 非共沸混合媒体用EHD熱交換器の研究
- 固相微粒子成膜エアロゾルデポジション法の現状と課題
- 着霜現象に対する電場の効果
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電プラズマの放電開始特性
- 単一イオン照射によるグラファイト表面の摩擦力変化--吸着力変化と垂直抗力依存性
- 微小重力下でのセラミックス製膜技術の開発
- 微小重力下におけるエアロゾル・デポジション法による薄膜形成
- 2807 マイクロスケール微粒子の圧縮破壊強度評価(J20 マイクロナノ理工学,2005年度年次大会)
- 517 マイクロプレス機を用いたメタルベースMEMS要素部品の製作(OS7 ナノ・マイクロ加工)
- B-2 超音波原子間力顕微鏡による圧電・強誘電材料のドメイン境界の評価(超音波物性・材料)
- イオン注入法を利用した金ナノ微粒子触媒の形成
- 3G09 エアロゾルデポジション法によるナノコンポジット膜の作製(第 2 報) : 金属-セラミックスコンポジットの基礎的検討
- プール沸騰限界熱流束のEHD的沸騰促進メカニズムに関する研究 : 気泡下部液膜内圧力変動測定に基づく限界熱流束メカニズム(熱工学,内燃機関,動力など)
- エアロゾルデポジション法--高機能部品の低コスト、省エネ製造への取り組み
- イオンビームと微細加工--プレス加工へのイオンビームの可能性 (特集 ここまで進んだ高密度エネルギー加工技術)
- 4218 オンデマンド型メタルベースMEMS製造システムの開発(J24-1 生産機械のマイクロ化(1))
- 1201 オンデマンド型MEMS製造システムの開発(OS1-2 生産システムの運用)
- 20302 マイクロTAS用の触媒担持技術(OS14 機能性マイクロデバイスの創製・評価)
- イオンビームによる微細加工(イオンを用いた表面改質)
- イオン注入とエッチングにより作製するナノ粒子触媒のマイクロ化学分析システムへの応用に関する研究
- イオン照射によって生じた欠陥のX線による回復
- イオン注入層を用いたマイクロマシン構造作成の注入イオン種と熱処理の効果
- 26aYL-9 高エネルギーイオン注入によるAu-Si注入層の理論解析(II)
- イオン注入改質材料の弾性率制御とマイクロマシンデバイスへの適用 (第15回イオン注入表層処理シンポジウム)
- 集束イオンビームを用いたAFM用カンチレバーの加工
- イオン注入層を用いたマイクロマシンの作成
- シングルイオン照射によって形成される照射痕の生成確率計算
- シランカップリング剤を利用した氷スラリー生成機構のミクロ観察 (マイクロスケールの流体・熱流動現象)
- 通産省工業技術院機械技術研究所・エネルギー部における混相流研究
- 超微細凹凸面による流動抵抗低減に関する研究
- イオン注入層を用いたマイクロマシン構造の作成 : 金、チタンイオン注入によるマイクロカンチレバーの作成
- レーザー干渉縞の位相速度走査による薄膜試料の弾性表面波音速測定
- 水-エタノール混合媒体を使用する圧縮式ヒートポンプ 第1報:線図解析に基づくサイクル特性
- 712 ヘリカル形液封式圧縮機の研究 : 第4報 高効率化のための羽根車の形状改善(流体機械)
- 水および水-エタノール系を作動媒体とする圧縮式ヒートポンプ(第1報)サイクルの特性と適用可能性
- 水を作動媒体とする圧縮式ヒートポンプ用ヘリカル形液封式圧縮機の研究 : 第1報, 圧縮機の概念と基本運転特性
- 壁近傍領域のみに電場を印加させる強制対流熱伝達促進とそのメカニズムに関する研究
- 壁近傍領域のみに電場を印加させる強制対流熱伝達促進とそのメカニズムに関する研究(原子力技術部,所外発表論文等概要)
- 心拍リズムで駆動する扇風機の特性
- 3G-2 MeV Siイオン注入Siのビーム音響法による評価(超音波顕微鏡)
- 1-B-1 イオンビーム励起音響による、イオン注入層のキャラクタリゼーション(B.音波物性)
- D-20 変調周波数による熱拡散長の差を利用した光音響映像作成法(ポスターセッション)
- 分子動力学法による固液間滑り境界に関する研究
- 電気熱流体力学の基礎的研究とエネルギ-工学への応用の研究 (平成7年度通商産業省研究業務優秀者表彰) -- (通商産業大臣表彰)
- ス-パ-ヒ-トポンプの評価--超高性能ヒ-トポンプの開発と小規模プラントでの中間評価 (発展するヒ-トポンプ技術) -- (「ス-パ-ヒ-トポンプ・エネルギ-集積システム」研究開発プロジェクトの現状)
- 窒素ガス流と磁気力に駆動される空気の対流現象の解析
- 2820 水中を上昇する気泡の界面状態に関する研究
- 液相メタノール合成反応における総括反応速度への触媒層厚さの影響
- エコエネ都市を目指して(科学技術の転換期における機械工学)
- 管内強制対流熱伝達に対する電気流体力学的効果の数値解析 〔熱工学, 内燃機関, 動力など〕
- 未成功研究の原因 : 研究の目標設定について考える
- 1・10・4生体熱工学(1・10新分野の伝熱)(1.伝熱)(機械工学年鑑(1996年))(熱工学)
- 1・10・3生産・加工プロセスの伝熱(1・10新分野の伝熱)(1.伝熱)(機械工学年鑑(1996年))(熱工学)
- 1・10・2土壌清浄化熱技術(1・10新分野の伝熱)(1.伝熱)(機械工学年鑑(1996年))(熱工学)
- 1・10・1マイクロ伝熱(1・10新分野の伝熱)(1.伝熱)(機械工学年鑑(1996年))(熱工学)
- PE9 レーザー干渉縞の位相速度走査法を用いた弾性表面波発生法の高周波化(SAWデバイス,ポスターセッション1)
- D-4 探針の押し込みによる弾性変形の分子力学シミュレーション(D.超音波基礎・非線形)
- 日本のものづくりとシンセシオロジー
- 接着継手の混合モード破壊基準
- 接着継手の強度評価への破壊力学の応用 : 第2報、各種接着継手の疲労き裂伝ぱ特性
- 要素剛性マトリックスの微分を用いた仮想き裂進展法の効率化
- 接着継手の強度評価への破壊力学の応用 : 第1報,DCB試験片と単純重ね継手の破壊靭性
- 電気熱流体力学効果とその応用
- 液体の静電気現象と応用-6-電気流体力学(EHD)現象とその応用
- EHD技術の応用と今後の展望
- 電場による電気機器冷却促進技術 (静電気応用)
- 金イオン注入したシリコンのエッチング特性
- PG5 レーザー干渉縞の位相速度走査法による弾性表面波を用いた標準欠陥の評価(ポスターセッション1)
- イオン注入技術と金型の改質
- MeVイオン注入装置〔含 資料〕
- 気液二相圧縮過程を用いた圧縮式ヒートポンプの研究 : 準定常圧縮過程による成績係数の向上
- 省エネルギ-に貢献するヒ-トポンプ
- EHD効果を活用する沸騰伝熱促進に関する研究 : 第3報, 電場内の気泡の挙動
- EHD凝縮器の熱伝達性能 : 第2報, EHD凝縮器の実用化研究
- 電気流体力学的(EHD)効果を用いた壁面近傍の流れのかく乱による管内強制対流熱伝達の促進
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタグロー放電における静電シールドの効果
- Metal Ionization in a High-Power Pulsed Sputtering (HPPS) Penning Discharge
- ミニマルファブによる半導体工場イノベーション
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタプラズマの電気的特性
- A new approach of high-power pulsed glow-plasma generation : shunting glow plasma
- 熱と電気のミクロの視点
- 「『超』の付く技術」発刊に際して (「超」の付く技術)
- 地球環境問題の機械技術への影響 (lt特集gt10年後の化学技術はどうなるか)
- 電場を利用した伝熱制御
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性