3G-2 MeV Siイオン注入Siのビーム音響法による評価(超音波顕微鏡)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1990-11-20
著者
-
永田 可彦
産総研
-
甲田 壽男
産総研
-
中野 禅
産業技術総合研究所
-
山中 一司
機械技術研究所
-
小木曽 久人
産業技術総合研究所
-
永田 可彦
(独)産業技術総合研究所
-
永田 可彦
機械技術研究所
-
小木曽 久人
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ
-
中野 禅
機械技術研究所
-
甲田 壽男
機械技術研究所
-
小木曽 久人
機械技術研究所基礎機械部極限技術課
関連論文
- W108ミミックセンサーを埋め込んだ受話器の脈波取得性について
- W114下肢リハビリ支援システムの開発-第2報-
- W114 下肢リハビリ支援システムの開発 : 第2報(歩行支援,下肢リハビリテーション)(シンポジウム : 福祉工学)
- W108 ミミックセンサーを埋め込んだ受話器の脈波取得性について(生体計測2)(シンポジウム : 福祉工学)
- 21713 薄膜材の残留応力測定法(薄膜・計測,OS.12 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- 20113 イオン注入を用いた構造部品の強度的リユース性評価方法(機械工学が支援する先端デバイス評価技術,OS1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- ニューラルネットワークによる超微小押込み曲線を用いた多層薄膜材の機械的特性評価
- 下肢障害者が運動を実感できる装置に関する基礎研究 : 剰余的行動の動因と運動特性について
- 運動支援機器のためのハンズフリーコントローラーの設計 : 下肢障害者の運動実感に関する研究(口頭による研究発表概要)
- 動作解析とプロトコル抽出による運動実感の測定 : 下肢障害者の運動実感に関する研究 その(2)
- マルチプルアクション型車椅子の試作と実験計画 : 下肢障害者の運動実感に関する研究 その(1)
- (1)エアロゾルデポジション法による常温セラミックスコーティングとプラズマ耐食コーティングとしての実用化開発(技術,日本機械学会賞〔2008年度(平成20年度)審査経過報告〕)
- 固相微粒子成膜エアロゾルデポジション法の現状と課題
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電プラズマの放電開始特性
- 機械工業におけるファインセラミックス(筑波研究学園都市における精密技術展望(その2))
- F-1 超音波顕微鏡によるセラミックス摺動材料の研究(超音波顕微鏡・映像)
- E-10 超音波顕微鏡による固体表面下の欠陥の観察(一般講演)
- 単一イオン照射によるグラファイト表面の摩擦力変化--吸着力変化と垂直抗力依存性
- 微小重力下でのセラミックス製膜技術の開発
- 微小重力下におけるエアロゾル・デポジション法による薄膜形成
- 2807 マイクロスケール微粒子の圧縮破壊強度評価(J20 マイクロナノ理工学,2005年度年次大会)
- 517 マイクロプレス機を用いたメタルベースMEMS要素部品の製作(OS7 ナノ・マイクロ加工)
- B-2 超音波原子間力顕微鏡による圧電・強誘電材料のドメイン境界の評価(超音波物性・材料)
- イオン注入法を利用した金ナノ微粒子触媒の形成
- 3G09 エアロゾルデポジション法によるナノコンポジット膜の作製(第 2 報) : 金属-セラミックスコンポジットの基礎的検討
- 天井走行リフトの走行動作が利用者の主観的安全感覚に及ぼす影響
- E-19 ガラス中のピコ秒レーザー誘起音波の動的挙動(光音響)
- エアロゾルデポジション法--高機能部品の低コスト、省エネ製造への取り組み
- イオンビームと微細加工--プレス加工へのイオンビームの可能性 (特集 ここまで進んだ高密度エネルギー加工技術)
- 4218 オンデマンド型メタルベースMEMS製造システムの開発(J24-1 生産機械のマイクロ化(1))
- 1201 オンデマンド型MEMS製造システムの開発(OS1-2 生産システムの運用)
- 20302 マイクロTAS用の触媒担持技術(OS14 機能性マイクロデバイスの創製・評価)
- イオンビームによる微細加工(イオンを用いた表面改質)
- イオン注入とエッチングにより作製するナノ粒子触媒のマイクロ化学分析システムへの応用に関する研究
- イオン照射によって生じた欠陥のX線による回復
- イオン注入層を用いたマイクロマシン構造作成の注入イオン種と熱処理の効果
- 26aYL-9 高エネルギーイオン注入によるAu-Si注入層の理論解析(II)
- イオン注入改質材料の弾性率制御とマイクロマシンデバイスへの適用 (第15回イオン注入表層処理シンポジウム)
- 集束イオンビームを用いたAFM用カンチレバーの加工
- イオン注入層を用いたマイクロマシンの作成
- シングルイオン照射によって形成される照射痕の生成確率計算
- イオン注入層を用いたマイクロマシン構造の作成 : 金、チタンイオン注入によるマイクロカンチレバーの作成
- レーザ干渉縞の位相速度走査により励起した弾性表面波を用いた多孔質シリコンの物性評価
- レーザー干渉縞の位相速度走査による薄膜試料の弾性表面波音速測定
- ミリマシンの材料と物性計測(実働の微小機械(ミリマシン))
- レーザー干渉縞の位相速度走査によるバルク超音波を用いた欠陥の画像化
- A-3 レーザー干渉縞の位相速度走査によるバルク超音波の発生と指向性制御(A.超音波非破壊評価)
- 心拍リズムで駆動する扇風機の特性
- PA25 レーザー干渉縞の位相速度走査により励起した超音波の光学的検出(ポスタセッションA-概要講演・展示)
- PA12 低温応力負荷時の板の厚さと音速の超音波映像(ポスタセッションA-概要講演・展示)
- PB15 レーザー干渉縞の位相速度走査による100MHz帯弾性表面波の励起(ポスターセッションB)
- レーザの位相速度走査による単一モード超音波の発生法
- 3G-2 MeV Siイオン注入Siのビーム音響法による評価(超音波顕微鏡)
- 2PJ-6 光音響分光法による積層構造試料の評価(光音響,ポスターセッション(概要講演))
- 3-H-2 温度可変型低温用超音波顕微鏡とその高分子材料への応用(H.超音波顕微鏡)
- 3-G-2 波長可変レーザを励起源とした光音響分光映像装置(G.光音響)
- 1-B-1 イオンビーム励起音響による、イオン注入層のキャラクタリゼーション(B.音波物性)
- D-20 変調周波数による熱拡散長の差を利用した光音響映像作成法(ポスターセッション)
- レーザー干渉縞の位相速度走査によるバルク超音波の発生と内部欠陥の映像化
- D-4 探針の押し込みによる弾性変形の分子力学シミュレーション(D.超音波基礎・非線形)
- 非接触センサの走査によるスライシングマシンのブレードの平面度測定装置の開発
- ホログラフィ干渉法における空間周波数変調を利用した微小変形測定法 : モアレ法とマルチプリケーション法の応用
- 接着継手の混合モード破壊基準
- 接着継手の強度評価への破壊力学の応用 : 第2報、各種接着継手の疲労き裂伝ぱ特性
- 要素剛性マトリックスの微分を用いた仮想き裂進展法の効率化
- 接着継手の強度評価への破壊力学の応用 : 第1報,DCB試験片と単純重ね継手の破壊靭性
- 高齢者のための福祉機器の研究開発 : 健康的な生活をおくるために
- ホログラフィ干渉法における空間周波数変調を利用した微小変形測定法 : 計算機による自動解析
- 金イオン注入したシリコンのエッチング特性
- PG5 レーザー干渉縞の位相速度走査法による弾性表面波を用いた標準欠陥の評価(ポスターセッション1)
- イオン注入技術と金型の改質
- MeVイオン注入装置〔含 資料〕
- トライボロジー : 現状認識とこれからの問題
- レーザ放電誘導による加工の放電痕の観察
- レーザ放電誘導のトリガー遅れ
- 低空気圧力下でのレーザ放電誘導の2つのトリガー機構
- チタン炭窒化蒸着膜の組成・構造と機械的性質
- カソードルミネッセンス法によるダイヤモンド・MgO単結晶表面損傷の観察
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタグロー放電における静電シールドの効果
- 位相速度走査法による非接触超音波計測
- 工業技術院機械技術研究所ロボット工学部福祉応用研究室
- ミミックセンサを利用した体調モニタリング
- 健康的な生活を支援する技術の開発
- Metal Ionization in a High-Power Pulsed Sputtering (HPPS) Penning Discharge
- F4 異方性および暗視野超音波映像法のための調節可能な超音波ナイフエッジ(超音波非破壊評価)
- OI1 レーザー超音波とその応用(招待講演)
- 力変調モードAFMと超音波力顕微鏡 -材料のミクロな粘弾性-
- 超音波顕微鏡とその材料評価への応用
- F-3 超音波顕微鏡における亀裂像の解析(超音波顕微鏡・非破壊検査)
- F-3 超音波顕微鏡によるセラミックス押し込み破壊の研究(超音波顕微鏡・映像)
- A-8 インパルス集束超音波を用いた表面弾性波音速測定法(基礎・計測II)
- ミニマルファブによる半導体工場イノベーション
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタプラズマの電気的特性
- A new approach of high-power pulsed glow-plasma generation : shunting glow plasma
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性