チタン炭窒化蒸着膜の組成・構造と機械的性質

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 山中 一司

  機械技術研究所

• 松井 良夫

  無機材質研究所

• 榎本 祐嗣

  機械技術研究所

• 松井 良夫

  科学技術庁・無機材質研究所

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