対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面における発光スペクトル
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概要
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- 2008-12-20
著者
-
行村 建
同志社大学
-
東 欣吾
兵庫県立大
-
行村 建
産業技術総合研究所
-
玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
-
沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
-
三枝 亮介
同志社大学
-
行村 建
同志社大工
-
東 欣吾
兵庫県立大学
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
行村 建
産業技術総合研
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