3次元イオン注入用高電圧パルスモデュレータ電源装置の開発 : 2A/100kV/2000pps
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概要
著者
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行村 建
同志社大学
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鈴木 泰雄
イオン工学研究所
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西村 芳実
(株)栗田製作所
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西村 芳実
栗田製作所
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菱田 茂二
(株)栗田製作所
-
柴田 雅明
栗田製作所
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菱田 茂二
栗田製作所
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岩井 弘
岩井技術士事務所
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行村 建
同志社大学工学部
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