低気圧領域における無声放電希ガスエキシマ光出力の圧力依存性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1996-02-05
著者
関連論文
- XeClエキシマレーザ励起放電におけるアーク移行と金属スペクトルの発生
- 正パルスバイアスPBII&D法によるTiNコーティングの予備実験
- CNx成膜のためのシャンティングアークを用いた炭素・窒素混合プラズマの生成
- 8a-Q-3 水中過渡アーク放電の陽光柱
- 5a-K-1 液中過度アーク放電の気ほう II
- 磁気駆動型シャンティングアークプラズマからのイオン引き出しとシース近辺の密度の算定
- 正バイアス電極を用いたシャンティングアークによる誘起プラズマの生成
- シャンティングアーク放電誘起プラズマの電流特性
- 全方位シャンティングアーク放電による窒素を含むアモルファスカーボン薄膜生成
- ターゲット電流を用いたシャンティングアークプラズマの密度計測