シャンティングアークによりトリガされた正バイアス電極に発生する誘起プラズマ特性
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概要
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- 2006-05-26
著者
-
高木 浩一
岩手大学
-
池畑 隆
茨城大学
-
行村 建
同志社大学
-
池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
-
今井 貴文
同志社大学
-
今井 高文
同志社大学
-
レフチェンコ イゴール
シドニー大学
-
行村 建
同志社大学工学部
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