正バイアス電極を用いたシャンティングアークによる誘起プラズマの生成
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概要
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- 2006-01-13
著者
-
高木 浩一
岩手大学
-
藤原 民也
岩手大学工学部電気電子工学科
-
佐藤 直幸
茨城大学
-
藤原 民也
岩手大学
-
向川 政治
岩手大学
-
池畑 隆
茨城大学
-
行村 建
同志社大学
-
池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
-
江古 憲一
同志社大学工学部
-
今井 貴文
同志社大学
-
今井 高文
同志社大学
-
行村 建
同志社大工
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
江古 憲一
同志社大学
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