CNx成膜のためのシャンティングアークを用いた炭素・窒素混合プラズマの生成
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概要
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- 2007-05-25
著者
-
高木 浩一
岩手大学
-
藤原 民也
岩手大学工学部電気電子工学科
-
藤原 民也
岩手大学
-
向川 政治
岩手大学
-
須田 善行
北海道大学大学院情報科学研究科
-
村上 貴之
岩手大学
-
須田 善行
北海道大学
-
行村 建
同志社大学
-
今西 圭吾
岩手大学
-
藤原 民也
岩手大・工
-
行村 建
同志社大工
-
Bratescu M.
Division Of Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido Universi
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
行村 建
産業技術総合研
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