PBII&D法によるRFスパッタを用いたカーボン膜およびタングステンカーボン膜生成
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概要
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- 2005-12-09
著者
-
高木 浩一
岩手大学
-
須田 善行
北海道大学大学院情報科学研究科
-
中村 圭二
中部大学
-
須田 善行
北海道大学
-
行村 建
同志社大学
-
中村 圭二
中部大学工学部
-
中村 圭二
中部大
-
小野 浩之
同志社大学
-
Bratescu M.
Division Of Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido Universi
-
行村 建
同志社大学工学部
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