行村 建 | 同志社大学
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概要
関連著者
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行村 建
同志社大学
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行村 建
同志社大工
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丸山 敏朗
京都大学
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高木 浩一
岩手大学
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神原 信志
岐阜大学大学院工学研究科
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吉門 進三
同志社大学工学部
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池畑 隆
茨城大学
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行村 建
産業技術総合研究所
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玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
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沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
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池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
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佐藤 直幸
茨城大学
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藤原 民也
岩手大学
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向川 政治
岩手大学
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神原 信志
岐阜大学
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藤原 民也
岩手大学工学部電気電子工学科
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神原 信志
岐阜大学大学院工学研究科環境エネルギーシステム専攻
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守富 寛
岐阜大学大学院工学研究科 環境エネルギーシステム専攻
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東 欣吾
兵庫県立大
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山下 亨
出光興産(株)石炭・環境研究所
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松永 浩一
ハイデン研究所
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山下 亨
出光興産
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三枝 亮介
同志社大学
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山下 亨
出光興産 石炭・環境研
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山下 亨
出光興産(株)産業エネルギー部石炭・環境研究所
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神原 信志
出光興産(株)
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江古 憲一
同志社大学工学部
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谷 祐志
同志社大学
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吉岡 健司
同志社大学
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向当 正朗
同志社大学
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久世 英司
同志社大学
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政宗 貞男
京都工芸繊維大学
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須田 善行
北海道大学大学院情報科学研究科
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須田 善行
北海道大学
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鈴木 泰雄
イオン工学研究所
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今井 貴文
同志社大学
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田中 優臣
同志社大学
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Bratescu M.
Division Of Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido Universi
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河村 賢介
同志社大学
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山本 極
同志社大学
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Masamune Sadao
Institute Of Plasma Physics Nagoya University:department Of Electrical Engineering Kyoto Institute O
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大野 一人
同志社大学工学部
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門口 敏秀
同志社大学
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寺本 智之
同志社大学
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大野 一人
同志社大学
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張 伯羊
同志社大学
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村上 寛
同志社大学
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中村 圭二
中部大学
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藤田 寛治
佐賀大学理工学部
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大津 康徳
佐賀大学理工学部
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中村 圭二
中部大学工学部
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大津 康徳
佐賀大学
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今井 高文
同志社大学
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行村 建
同志社大学工学部電気工学科
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佐久間 雄基
同志社大学
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野中 裕彌
茨城大学
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明石 周平
同志社大学
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Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
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藤田 寛治
佐賀大学
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Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
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松永 浩一
(株)ハイデン研究所
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黒岡 俊次
イオン工学研究所
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西田 充孝
同志社大学
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神原 信志
岐阜大
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小池 英仁
同志社大学
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熊谷 倫
岩手大学工学部
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佐藤 広輝
茨城大学
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刑部 友敬
小島プレス工業
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古谷野 文香
岐阜大学
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加藤 博貴
同志社大学
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天野 信之
同志社大学
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小野 浩之
同志社大学
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平松 孝士
同志社大学
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馬 欣新
同志社大学
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堀内 一男
同志社大学
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磯野 僚多
同志社大学
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石川 真也
同志社大学
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今西 圭吾
岩手大学
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田中 尚樹
同志社大学
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佐々木 宗生
滋賀県工業技術総合センター
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佐々木 宗生
滋賀工技セ
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藤原 民也
岩手大・工
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佐藤 弘基
茨城大学
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玉垣 浩
株式会社 神戸製鋼所
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沖本 忠雄
株式会社 神戸製鋼所
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中尾 領揮
茨城大学
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吉門 進三
同志社大学理工学部
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馬 欣新
ハルピン工業大学
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義永 博章
同志社大学
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吉田 義昭
同志社大学
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丸山 貴司
同志社大学
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熊谷 基也
同志社大学
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榊原 伸一
同志社大学
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高木 浩一
岩手大学工学部
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三沢 達也
佐賀大学理工学部
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村上 貴之
岩手大学
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神谷 旭人
茨城大学
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藤田 一郎
同志社大学
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西村 芳実
(株)栗田製作所
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西村 芳実
栗田製作所
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真瀬 寛
茨城大学
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今井田 豊
同志社大工
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今井田 豊
同志社大学
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元木 幹雄
同志社大学工学部
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菱田 茂二
(株)栗田製作所
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堀野 裕治
産総研
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栗山 諒二
岐阜大学
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渡部 雄介
茨城大学
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根本 翔
茨城大学
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佐野 公謙
同志社大学
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Fujita Hisanori
Institute Of Laser Engineering Osaka University
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木野村 淳
大阪工業技術
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石山 政文
同志社大学工学部機械システム工学科
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長谷部 忠司
同志社大学工学部機械システム工学科
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森本 伸司
同志社大学工学部
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木野村 淳
(独)産業技術総合研究所
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丸山 敏朗
京都大学大学院工学研究科
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堀野 裕治
大阪工業技術研究所
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菱田 茂二
栗田製作所
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松山 将之
同志社大学
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茶谷 和秀
同志社大学
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山脇 孝
(株)ハイデン研究所
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堀野 裕治
独立行政法人産業技術総合研究所関西センター
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三沢 達也
佐賀大学
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清水 幸浩
同志社大学
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塩谷 健一
茨城大工
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荒木 俊也
クラリオン(株)技術開発本部
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伊藤 正行
同志社大学工学部物質化学工学科
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伊藤 正行
同志社大学
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政宗 貞男
京都工繊大工芸科学
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石井 彰三
東京工業大学
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田中 武
広島工業大学工学部
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松本 陽栄
佐賀大学
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向川 政治
岩手大学工学部
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青木 宏憲
岩手大学
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佐々木 良太
茨城大学
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松本 智
慶應義塾大学理工学研究科
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小池 章人
茨城大学
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丸山 寛
同志社大学工学部
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阿部 将典
岐阜大学
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渡辺 雄仁
岐阜大学
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石井 彰三
東京工大
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中村 圭二
中部大
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永沼 充
NTT光エレクトロニクス研究所
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松本 智
慶應義塾大学
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田中 武
広島工業大学
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鈴木 泰雄
(株)イオン工学研究所
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永沼 充
Ntt
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桂井 誠
東京大学工学部
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久須本 典煕
同志社大学工学部
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増井 清徳
同志社大学
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高木 俊宜
広島工業大学
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茶谷原 昭義
大阪工業技術研究所
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ABE Masanori
Gifu University
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中村 諭
岩手大
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LUO Jack
ボルトン大学
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石塚 直夫
茨城大学
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玉垣 浩
神戸製鋼所
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沖本 忠雄
神戸製鋼所
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諸岡 正人
茨城大学
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守富 寛
岐阜大学大学院工学研究科
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桂井 誠
放送大 東京文京学習セ
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長谷川 隆治
岩手大
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光吉 要
同志社大学
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渡邉 悟志
広島工業大学大学院工学研究科電子工学専攻
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比羅岡 鉄兵
広島工業大学工学部電子工学科
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本田 諭
広島工業大学工学部電子工学科
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WEI Ronghua
Surface Engineering Section, Materials Engineering Department, Southwest Research Institute
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中出 康夫
同志社大学工学部機械システム工学科
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MA Xinxin
ハルピン工業大学
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Wei Ronghua
Surface Engineering Section Materials Engineering Department Southwest Research Institute
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熊野 雄太
岐阜大学
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古市 修平
京都セミコンダクター(株)
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石山 正文
同志社大学
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森永 裕樹
同志社大学工学部
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浜谷 治
同志社大学工学部
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江口 順子
同志社大学工学部
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門屋 信孝
同志社大学工学部
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佐藤 直幸
茨城大学工学部電気電子工学科
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池畑 隆
茨城大学工学部電気電子工学科
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真瀬 寛
茨城大学工学部電気電子工学科
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山下 智和
広島工業大学
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諸貫 正樹
(株)リケン 研究開発部
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レフチェンコ イゴール
シドニー大学
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松本 智
慶応義塾大学
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黒岡 俊次
株式会社イオン工学研究所
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鈴木 泰雄
株式会社イオン工学研究所
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柴田 雅明
栗田製作所
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岩井 弘
岩井技術士事務所
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佐藤 成悟
同志社大学工学部
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祖父 江聡
同志社大学工学部
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ADLER R.
NSRC
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岩倉 克之
同志社大学
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高木 寛維
同志社大学
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長谷川 隆治
岩手大学
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中村 諭
岩手大学
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茶谷原 昭義
大阪工業技術研究所材料物理部
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Fujita Hideki
Institute Of Plasma Physics Nagoya University
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渡辺 雄仁
岐阜大
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柿谷 真一
栗田製作所
著作論文
- XeClエキシマレーザ励起放電におけるアーク移行と金属スペクトルの発生
- 正パルスバイアスPBII&D法によるTiNコーティングの予備実験
- CNx成膜のためのシャンティングアークを用いた炭素・窒素混合プラズマの生成
- 8a-Q-3 水中過渡アーク放電の陽光柱
- 5a-K-1 液中過度アーク放電の気ほう II
- 磁気駆動型シャンティングアークプラズマからのイオン引き出しとシース近辺の密度の算定
- 正バイアス電極を用いたシャンティングアークによる誘起プラズマの生成
- シャンティングアーク放電誘起プラズマの電流特性
- 全方位シャンティングアーク放電による窒素を含むアモルファスカーボン薄膜生成
- ターゲット電流を用いたシャンティングアークプラズマの密度計測
- シャンティングアークアシストRF(195kHz)放電のイオン電流とイオン密度
- シャンティングアークアシストRF(195kHz)放電の発光スペクトル
- 大気圧非平衡プラズマによるH_2/N_2/O_2系水素酸化特性とその反応メカニズム
- ZnOナノストラクチャーの化学的堆積について
- デュアルプラズマ配位におけるイオンエネルギーのガス圧力依存性
- 対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電のハイブリッド放電におけるガス変化による電気的特性の違い
- デュアルプラズマ配位における絶縁性基材の帯電中和条件の検討
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)マグネトロン放電装置の特性
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面のプラズマ密度
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)マグネトロン放電の電気的特性および発光スペクトル
- 対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電によるハイブリッド放電の電気的特性
- シャンティングアークによる成膜プロセス
- シャンティングアーク放電プラズマの構造解析
- グリッド制御を用いたプラズマイオンプロセス
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)による発光スペクトルの観測およびプラズマ密度の検討
- 負パルス-デュアルプラズマ法の基礎特性とポリマー表面改質への応用
- 大気圧非平衡プラズマによる水素燃焼特性とその反応メカニズム
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)の電圧、電流特性および発光スペクトル
- 間欠誘電体バリア放電によるNOxガスの高効率直接脱硝
- 数十kW級大電力パルスグロー放電電気的特性の圧力依存性
- デュアルプラズマ配位の形成に対するグリッド粗さと印加電圧の効果
- デュアルプラズマイオンプロセスにおける絶縁性基材の帯電制御
- デュアルプラズマ含浸イオンプロセスによる絶縁物の表面処理
- 正バイアス電極を持つ間欠ジルコニウムPBII&D法による酸化ジルコニウム膜生成
- シャンティングアークを用いた窒素含有プラズマ生成とCNx成膜への適用
- シャンティングアークプラズマの大容積化と管内壁処理への適用
- PBII&D法によるRFスパッタを用いたカーボン膜およびタングステンカーボン膜生成
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン雰囲気下における電気的特性
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面における発光スペクトル
- 発光スペクトルにみるハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電における磁界の効果
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)から引き出されたプラズマとイオン電流に関する検討
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)におけるプラズマ負荷特性の検討
- ドロップレットフリー数十kW級大電力パルススパッタリング(HPPS)グロープラズマの生成
- NOxガスの間欠誘電体バリア放電による高効率直接分解
- NOx処理における酸素の影響
- DBDラジカルインジェクション法による、メッシュ長さの変化においてのNOx処理
- 間欠型DBDを用いたアンモニアラジカルインジェクション法DeNOxにおける注入モル比と処理効率
- はじめに : プラズマイオンプロセス最前線
- プラズマイオン注入・堆積法の新しい展開
- 三次元イオン注入システム
- エキシマレーザアブレーションによる加工深さのパルス幅及びターゲット材依存性 : MDシミュレーションによる検討
- 間欠ジルコニウムアークPBII&D法によるジルコニア皮膜
- 間欠ジルコニウムアークPBII&D法によるジルコニア皮膜
- PBII&D法によるRFスパッタ銅イオンを用いた酸化銅成膜
- プラズマイオン注入における高密度プラズマ生成技術
- 10kHz-100kHzにおけるAC型PDP無声放電の電気的特性
- Xe_2エキシマランプにおける無声放電の電気的特性及び発光特性
- 沿面無声放電による真空紫外光強度の増強に関する研究
- 低気圧領域における無声放電励起希ガスエキシマ光出力の圧力依存性
- Xe/He, Xe/Ne, Xe/Ar, Xe/Kr混合ガスにおける真空紫外エキシマ光の発生
- 低気圧領域における無声放電希ガスエキシマ光出力の圧力依存性
- 間欠型DBDを用いたアンモニアラジカルインジェクション法DeNOxにおける注入モル比と処理効率
- DBDアンモニアラジカルNOx処理法における高効率脱硝
- アンモニアラジカルNOx処理のギャップ長変化時におけるDBDエネルギー
- アンモニアラジカルNOx処理最適化におけるDBDギャップ長の影響
- 酸素を含む高濃度NO濃度領域における高効率脱硝
- アンモニアラジカルインジェクターにおける放電管ギャップ長のDeNOxに与える影響
- エキシマレーザ放電中の衝撃波やアークに伴う流体力学的現象
- XeClエキシマレーザ励起放電におけるアーク移行と金属スペクトルの発生
- クリプトンフッ素エキシマレーザを想定した予備電離用パルスアーク放電のスペクトル観測
- ニオブ酸リチウム(LiNbO_3)のKrFエキシマレーザ加工
- XeClエキシマレーザ励起放電におけるアーク移行と金属スペクトルの発生
- 希ガスエキシマ励起を目的とした無声放電の電気的特性
- レーザアブレーションの分子動力学シミュレーション
- 大気中の誘電体バリア放電を用いたポリテトラフルオロエチレンの表面改質
- 大気中の誘電体バリア放電を用いたポリテトラフルオロエチレンの表面改質
- エキシマレーザーアブレーション法による機能性薄膜の製作
- RFバースト炭素系アフターグロー中のプラズマ密度
- RF放電中でのシャンティングプラズマ生成
- CH_4-RFプラズマ中で生成したDLC膜の特性 : 定常波及びバースト波の比較
- PBII法に用いるRFプラズマのイオンシース進展と電流解析
- バーストRFプラズマにおけるイオン電流解析
- PLD法によるダイヤモンド状炭素薄膜の合成
- パルスレーザアブレーション法によるDLC薄膜の生成
- シャンティングアークを用いた複合プラズマにおける分光特性
- シャンティングアークによりトリガされた正バイアス電極に発生する誘起プラズマ特性
- "極限"に向かうレ-ザ技術
- 窒素ガス中の直流チタンアーク放電を用いたプラズマイオン注入による窒化チタン膜コーティング(プラズマ・表面相互作用)
- 三次元形状物への高エネルギーイオン注入
- 3次元イオン注入用高電圧パルスモデュレータ電源装置の開発 : 2A/100kV/2000pps
- プラズマ中のイオン引出しによる三次元イオン注入技術
- 全方位型パルスイオン注入装置によるTi製膜
- 3次元イオン注入システムにおけるイオン電流のパラメータ依存性
- 一様垂直入射イオンビームによるTiの製膜
- パルス電圧印加を用いたイオン源の開発
- ArFエキシマレーザCVDによるSiO_2薄膜の形成
- ArFエキシマレーザCVDによるSiO_2薄膜の形成
- 放電励起KrFエキシマレーザ励起放電のアーク移行特性
- 放電励起形KrFエキシマレーザ励起放電のアーク移行特性
- プラズマイオン注入を目的とした新しいモデュレータ動作へのターゲット面積およびターゲット位置の効果
- Crプラズマパルスイオン注入法による窒化クロム膜の生成と撥水性
- パルスイオン注入による窒化クロム膜における硬度および撥水性の改善
- プラズマイオン注入を目的とした新しいモデュレータ動作の基材面積およびターゲット位置の効果
- プラズマイオン注入を目的とした負荷に影響されない新しいモデュレータ
- 三次元形状物へのパルスイオン注入
- パルス電源を用いた大気圧プラズマ処理実施例
- 大気圧中に設置した細い金属線によるフィルムの除電効果
- 大気圧中に設置した細い金属線によるフィルムの除電効果
- 大気圧における間欠誘電体バリア放電によって生成したNH_3ラジカルによるNOx処理
- 間欠ジルコニウムアークプラズマを用いたイオン注入・堆積法によるジルコニア皮膜特性のAr/O_2流量およびアーク電流依存性
- 磁気駆動型シャンティングアークをもちいたアモルファスカーボン成膜
- 3次元イオン注入用60kV級完全乾式絶縁IGBTモジュレータ
- 接点開離金属アークを種とする正バイアス電極を用いた複合プラズマ生成
- 正バイアス・プラズマイオンプロセスの展開
- プラズマイオン注入におけるトレンチ形状基材のシースの形成と動的挙動
- プラズマイオン注入における基材の三次元形状効果
- 誘電体バリア放電を用いたアンモニアラジカル注入法によるNOx処理
- PBII用パルスプラズマ源からのイオン引出しモデル
- 蔵書の宝庫―国立国会図書館関西館
- アルゴン/酸素混合ガス中における間欠ジルコニウム陰極アーク放電による酸化ジルコニウム薄膜堆積におけるガス流量の影響
- 間欠パルス放電アンモニアラジカルインジェクション法による高濃度NOの高効率脱硝
- 誘電体バリア放電ラジカルインジェクタ方式NO除去の最適パラメータ
- 誘電体バリア放電を用いた低NH_3濃度・低電圧での高効率脱硝
- 針電極を持つ高誘電率セラミックスを用いた沿面コロナによる生成電子密度
- エキシマレーザの予備電離を目的とした高誘電率のセラミックスを用いたコロナ発生装置
- チタン陰極アークプラズマ中に置かれたトレンチ基材におけるパルス電圧印加に伴うイオンシース挙動およびイオン電流特性
- パルスプラズマにおける過渡イオンシースについて
- 無声放電励起希ガスエキシマランプの動作解析
- シャンティングアーク放電によるDLC膜の生成
- 同軸型電極によるシャンティングアークの発生とDLC堆積
- 真空中シャンティングアークの電気的特性
- カーボンシャンティングアークの発生とDLC生成
- 非金属材料のシャンティングアーク実験とDLC堆積
- 間欠ジルコニウムアークを用いたPBII&Dにおけるイオン電流およびイオン密度
- プラズマイオン注入堆積法 : 最近の日本の動向
- PBII&D法によるTiN薄膜の窒素流量および印加電圧依存性
- 3次元イオン注入による表面改質
- 負荷の影響を受けないプラズマイオン注入用モデュレータの特性
- カーボンシャンティングプラズマ生成機構の圧力依存性
- プラズマによるプラスチックフィルムの表面改質 : ポリテトラフルオロエチレンの親水性への改質
- シリコンシャンティングプラズマの生成とアーク移行
- プラズマイオン注入特性に与えるイオンシースの挙動
- シャンティングアークの放電特性及び大面積化への提案
- 期待される窒素系材料
- カーボンシャンティングアークの発生とロッド長の効果
- プラズマイオン注入
- 3.3 プラズマインプランテーション : 3. プラズマプロセス装置におけるプラズマ・表面相互作用(プラズマ・表面相互作用) : 多様なPSI現象
- PBII法に用いる誘導結合型プラズマ源の諸特性
- 低気圧中におかれた金属線の加熱によるシャンティングアークの発生=パルス金属イオン源の基礎研究=
- ニオブ酸リチウムのレーザアブレーションプルーム観測
- エキシマレーザトリガによるキセノンプラズマの分光観測
- KrFレーザにおける紫外線予備電離電子密度のガス分圧率依存性
- ウエットエッチングにより加工したYBCOマイクロストリップ線路共振器の作製と評価
- RFマグネトロンスパッタ法により作成したYBCO薄膜のマイクロ波抵抗
- 大気圧における間欠誘電体バリア放電によって生成したアンモニアラジカルによるNOx処理
- 大気圧における間欠誘電体バリア放電によって生成したアンモニアラジカルによるNOx処理
- 大気圧における間欠誘電体バリア放電によって生成したNH_3ラジカルによるNOx処理
- 酸化物高温超伝導体YBCO薄膜を用いたマイクロ波フィルターの作成および評価
- 中心波長128nmArエキシマ光によるPTFE表面の親水化
- エキシマランプによるPTFEの表面改質
- エキシマランプによるPTFEの表面改質
- 磁気駆動型シャンティングアークにおけるイオン電流とメタン中アークによる水素含有量の変化
- 誘導結合型プラズマスパッタリングによる酸化ジルコニウム薄膜合成
- シャンティングアーク放電によるアモルファスカーボン薄膜の生成
- 金属プラズマイオン注入法による絶縁物への堆積/注入
- トリガ機構を用いないシャンティングアークによるパルス金属イオン源の開発
- Arエキシマ光によるPTFE表面改質の可能性
- 3次元イオン注入装置におけるパルス放電生成プラズマイオン源の開発
- 無声放電励起希ガスエキシマ光の発生とPTFEの分解
- 対向電極型大電力パルススパッタグロー放電のガス変化における発光スペクトルの解析
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン/窒素雰囲気下における電気的特性
- 大気圧非平衡プラズマによる燃料電池水素オフガスの酸化特性
- プロセスチャンバー汚損内壁の環境調和型プラズマクリーニング法の検討
- ラジカルインジェクション脱硝法のラジカル反応メカニズム
- シャンティングアークの並列駆動と炭素成膜
- 大気圧非平衡プラズマによる水素の酸化特性
- プラズマ・イオン注入技術