正パルスバイアスPBII&D法によるTiNコーティングの予備実験
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概要
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- 2006-01-13
著者
-
佐藤 直幸
茨城大学
-
佐々木 良太
茨城大学
-
小池 章人
茨城大学
-
池畑 隆
茨城大学
-
行村 建
同志社大学
-
池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
-
行村 建
同志社大工
-
行村 健
産業技術総合研究所
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