プラズマイオン注入における基材の三次元形状効果
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概要
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- 2002-09-11
著者
-
佐藤 直幸
茨城大学
-
池畑 隆
茨城大学
-
行村 建
同志社大学
-
池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
-
真瀬 寛
茨城大学
-
塩谷 健一
茨城大工
-
荒木 俊也
クラリオン(株)技術開発本部
-
塩谷 健一
茨城大学工学部
-
荒木 俊也
茨城大学
-
島津 賢二
茨城大学
-
行村 健
産業技術総合研究所
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