荒木 俊也 | クラリオン(株)技術開発本部
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概要
関連著者
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佐藤 直幸
茨城大学
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荒木 俊也
クラリオン(株)技術開発本部
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真瀬 寛
茨城大学
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池畑 隆
茨城大学
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行村 建
同志社大学
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池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
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田辺 利夫
茨城大 工
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塩谷 健一
茨城大工
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塩谷 健一
茨城大学工学部
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荒木 俊也
茨城大学
著作論文
- プラズマイオン注入におけるトレンチ形状基材のシースの形成と動的挙動
- プラズマイオン注入(PBII)の三次元形状基材におけるシースの挙動とイオン電流
- プラズマイオン注入における基材の三次元形状効果
- プラズマイオン注入(PBII)におけるプラズマパルスバイアス法の試み
- 23aXF-2 プラズマイオン注入における電極シースの挙動とパルス波形