23aXF-2 プラズマイオン注入における電極シースの挙動とパルス波形
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2000-09-10
著者
-
佐藤 直幸
茨城大学
-
真瀬 寛
茨城大学
-
真瀬 寛
茨城大工
-
田辺 利夫
茨城大工
-
池畑 隆
茨城大工
-
田辺 利夫
茨城大 工
-
荒木 俊也
クラリオン(株)技術開発本部
-
前原 匡志
茨城大工
-
荒木 俊也
茨城大工
-
寺尾 光央
茨城大工
-
佐藤 直之
茨城大工
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