ECRフラーレンプラズマを用いた炭素系薄膜の形成とプラズマ中イオン種計測
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概要
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- 2001-08-24
著者
-
佐藤 直幸
茨城大学
-
池畑 隆
茨城大学
-
池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
-
真瀬 寛
茨城大学
-
石川 正彦
茨城大学
-
田辺 利夫
茨城大 工
-
田辺 利夫
茨城大学工学部電気電子工学科
-
田辺 利夫
茨城大学 工学部
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