対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電のハイブリッド放電におけるガス変化による電気的特性の違い
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概要
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- 2008-12-20
著者
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行村 建
同志社大学
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行村 建
産業技術総合研究所
-
玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
-
沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
-
佐久間 雄基
同志社大学
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行村 建
同志社大工
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
行村 建
産業技術総合研
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