沖本 忠雄 | (株)神戸製鋼所
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概要
関連著者
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玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
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沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
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行村 建
同志社大工
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行村 健
産業技術総合研究所
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行村 建
産業技術総合研
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行村 建
同志社大学
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行村 建
産業技術総合研究所
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東 欣吾
兵庫県立大
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三枝 亮介
同志社大学
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東 欣吾
兵庫県立大学
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佐久間 雄基
同志社大学
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玉垣 浩
株式会社 神戸製鋼所
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沖本 忠雄
株式会社 神戸製鋼所
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加藤 博貴
同志社大学
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玉垣 浩
神戸製鋼所
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沖本 忠雄
神戸製鋼所
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熊切 正
神戸製鋼所
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熊切 正
株式会社神戸製鋼所 機械カンパニー開発部
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行村 建
(株)神戸製鋼所
著作論文
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電とパルスRF誘導プラズマ結合プラズマの電気的相互作用
- 対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電のハイブリッド放電におけるガス変化による電気的特性の違い
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)マグネトロン放電装置の特性
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面のプラズマ密度
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)マグネトロン放電の電気的特性および発光スペクトル
- 対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電によるハイブリッド放電の電気的特性
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)による発光スペクトルの観測およびプラズマ密度の検討
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)の電圧、電流特性および発光スペクトル
- 数十kW級大電力パルスグロー放電電気的特性の圧力依存性
- 対向電極型HPPSグロープラズマ源が放出するプラズマ流の電流電圧特性
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン雰囲気下における電気的特性
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面における発光スペクトル
- 発光スペクトルにみるハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電における磁界の効果
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)から引き出されたプラズマとイオン電流に関する検討
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)におけるプラズマ負荷特性の検討
- ドロップレットフリー数十kW級大電力パルススパッタリング(HPPS)グロープラズマの生成
- ロール to ロールプラズマCVD装置
- 技術資料 ホローカソードプラズマ源によるSiOx成膜 (特集:薄膜技術)
- ホローカソードプラズマ源によるSiOx成膜
- 対向電極型大電力パルススパッタグロー放電のガス変化における発光スペクトルの解析
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン/窒素雰囲気下における電気的特性