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熊切 正 | 株式会社神戸製鋼所 機械カンパニー開発部
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株式会社神戸製鋼所 機械カンパニー開発部の論文著者
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熊切 正
神戸製鋼所
熊切 正
株式会社神戸製鋼所 機械カンパニー開発部
玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
玉垣 浩
神戸製鋼所
沖本 忠雄
神戸製鋼所
著作論文
技術資料 ホローカソードプラズマ源によるSiOx成膜 (特集:薄膜技術)
ホローカソードプラズマ源によるSiOx成膜
摺動性に優れるCrN皮膜
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