熊切 正 | 神戸製鋼所
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概要
関連著者
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熊切 正
神戸製鋼所
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熊切 正
株式会社神戸製鋼所 機械カンパニー開発部
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玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
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沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
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赤理 孝一郎
神戸製鋼所
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玉垣 浩
神戸製鋼所
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沖本 忠雄
神戸製鋼所
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赤理 孝一郎
神戸製鋼所機械カンパニー
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小原 利光
神戸製鋼所
著作論文
- 技術資料 ホローカソードプラズマ源によるSiOx成膜 (特集:薄膜技術)
- ホローカソードプラズマ源によるSiOx成膜
- UBMスパッタ法によるDLC膜形成技術とその応用
- AIP法と金属イオン注入法の複合成膜技術 (プラズマ・ビ-ム技術特集)
- 摺動性に優れるCrN皮膜
- 三次元部材への適用例と現在の問題点