ドロップレットフリー数十kW級大電力パルススパッタリング(HPPS)グロープラズマの生成
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概要
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- 2007-05-25
著者
-
行村 建
同志社大学
-
玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
-
沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
-
玉垣 浩
株式会社 神戸製鋼所
-
沖本 忠雄
株式会社 神戸製鋼所
-
三枝 亮介
同志社大学
-
行村 建
同志社大工
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
行村 建
産業技術総合研
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