沖本 忠雄 | 株式会社 神戸製鋼所
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概要
関連著者
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行村 建
同志社大学
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玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
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沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
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玉垣 浩
株式会社 神戸製鋼所
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沖本 忠雄
株式会社 神戸製鋼所
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行村 建
同志社大工
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行村 健
産業技術総合研究所
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行村 建
産業技術総合研
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加藤 博貴
同志社大学
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行村 建
産業技術総合研究所
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三枝 亮介
同志社大学
著作論文
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)マグネトロン放電装置の特性
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)マグネトロン放電の電気的特性および発光スペクトル
- ドロップレットフリー数十kW級大電力パルススパッタリング(HPPS)グロープラズマの生成